Το δίσκο Megasonic δύο - side brushing & καθαρισμός spin - στεγνωτήριο (sic cleaner με megasonic βούρτσισμα βούρτσισμα - ξήρανση) αποτελείται από μια ενιαία συσκευή - Συσκευή φόρτωσης σταθμού, Wafer Manipulator Device (με δυνατότητα flipping) Μονάδα καθαρισμού FFU, σύστημα ηλεκτρικού ελέγχου, σύστημα σωληνώσεων και πνευματικό σύστημα.
Παραμέτρους προϊόντος
1. Ροή παραγωγής:
Φόρτωση → θέση → περιστροφή, βούρτσισμα, καθαρισμός, δύο - ψεκασμός υγρού (πλευρά SI) → Γυρίστε πάνω από 180 μοίρες → περιστροφή, βουρτσάκι, καθαρισμός, μεγαχονικός ψεκασμός (c πλευρά) → περιστροφή, περιστροφή {- ξήρανση → Ελευθερία
2.MAJOR Υλικά:
Μεταλλικό πλαίσιο
PP White Board
3. Μεταφορά:
Οι γκοφρέτες μεταφέρονται με καθαρό ρομποτικό χέρι.
Χαρακτηριστικά και εφαρμογές προϊόντος
Αφαιρεί τα υπολειπόμενα σωματίδια και από τις δύο επιφάνειες του δισκίου:
a. Particle size 0.3~0.5 µm: removal rate >90% ή<200 particles;
b. Particle size 0.5~1 µm: removal rate >95% ή<10 particles.
Σημείωση: Η μηχανή επιθεώρησης είναι συμβατή με την Candela ή τη Sica.
Λεπτομέρειες προϊόντος
Χωρητικότητα του θαλάμου πλύσης:
1 δίσκο
Τυπικός χρόνος παρτίδας παραγωγής:
Περίπου . 144 sec/κομμάτι (ο χρόνος βούρτσας είναι ρυθμιζόμενος)
Τυποποιημένα μεγέθη:
6 ίντσες (Φ150mm) και 8 ίντσες (Φ200mm)
Μη - Τυπικά μεγέθη:
Φ150 ~ 153mm και Φ200 ~ 203mm
Σενάρια εφαρμογής
◇ Τον Οκτώβριο του 2023, ο καθαριστής SIC με megasonic βούρτσισμα spin - ξήρανση ανατέθηκε και άρχισε να λειτουργεί ως μονάδα επίδειξης στο site του πελάτη για Wuxi Hy Solar.
Δημοφιλείς Ετικέτες: SIC Cleaner με megasonic βούρτσισμα spin - ξήρανση, China SIC Cleaner με megasonic βούρτσισμα spin - ξήρανση κατασκευαστές
