Το διπλό - μηχανικό καθαριστικό στίλβου (SIC Cleaner After - DMP) διαθέτει αυτόματη θέρμανση, συσκευή κυκλοφορίας σταθερής θερμοκρασίας, συσκευή υπερηχητικής καθαρισμού, ψεκασμό γρήγορου συστήματος {2} Οι λειτουργίες του ελέγχονται από την PLC και περιλαμβάνουν ρυθμιζόμενο χρόνο καθαρισμού, προτροπή ολοκλήρωσης καθαρισμού, ρύθμιση ελέγχου θερμοκρασίας, συναγερμούς υψηλής και χαμηλής στάθμης υγρού, προστασία υπερχείλισης και συναγερμό ανίχνευσης διαρροών.
Παραμέτρους προϊόντος
1. Ροή παραγωγής:
Φόρτωση (εγχειρίδιο) → δεξαμενή QDR → δεξαμενής → Δεξαμενή υπερηχητικής καθαρισμού → Δεξαμενή πράκτορα υπερηχητικών → Δεξαμενή QDR → Εκφόρτωση (εγχειρίδιο)
2.MAJOR Υλικά:
Μεταλλικό πλαίσιο: SUS 304
ICE - Κρέμα pp board
Υλικό δεξαμενής: PPN + SUS 316
3. Μεταφορά:
Εγχειρίδιο
Χαρακτηριστικά και εφαρμογές προϊόντος
Αφαιρεί την υπολειμματική ιλύ και τα μεγαλύτερα σωματίδια από την επιφάνεια των δισκίων SIC μετά τη διαδικασία διπλής - με μηχανική στίλβωση.
Λεπτομέρειες προϊόντος
◆ 1. Κατασκευή:
6 "× 1 κασέτα (25 τεμ)
Κασέτα 8 "× 1 (25 τεμ)
◆ 2. Καθαρισμός χρόνου παρτίδας:
Λιγότερο από ή ίσο με 1 παρτίδα/10 λεπτά (ο χρόνος καθαρισμού είναι ρυθμιζόμενος).
Σενάρια εφαρμογής
◇ Τον Οκτώβριο του 2024, το SIC Cleaner μετά από - DMP ανατέθηκε και άρχισε να λειτουργεί στο site του πελάτη για το Tiancheng Semiconductor.
Δημοφιλείς Ετικέτες: SIC Cleaner After - DMP, China SIC Cleaner μετά από - κατασκευαστές DMP
